| 特点 |
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带有气体采样流量自动控制功能 |
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LCD显示，现场状态一目了然 |
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实现小型、轻量化 |
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可简单地更换传感器和采样气路 |
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带有防止传感器单元错误插入的功能 |
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可以设定多样的维护模式 |
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组合对应热分解单元与定电位电解式传感器，能检测NF3等 |
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实现了用PDA读取数据 |
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符合CE规格，SEMI规格 |
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| 型号 |
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| 标准型 |
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| 检测原理 |
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•定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式
•热分解+定电位电解式 |
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| 采样方式 |
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| 采样配管 |
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| 气体浓度显示 |
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| 报警接点 |
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•气体报警（1段以及二级） 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2显示
•流量降低报警 堵塞指示显示：流量显示为低速运转 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 FLOW显示以及流量显示为停止运转状态
•传感器故障报警/传感器误插入报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 SENS.显示 •热分解炉断线报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 CONV.显示 |
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| 外部输出 |
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气体浓度模拟输出 DC4~20mA（与电源的负极通用） 气体报警接点（1段以及两极） 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 （开路集电极/自动复位） |
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| 适合电缆线 |
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控制用屏幕电缆线（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯 使用温度湿度范围 0℃~40℃（但是不能有剧烈的温度变化）、30~85%RH（但不能结露） |
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| 使用电源 |
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| 消耗电力 |
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| 尺寸 |
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•W62xH124xD143mm(除去突起物)
•W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物) |
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| 重量 |
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| 安装方法 |
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